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當前位置：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司>>晶圓厚度測量>>硅片厚度測量儀>> FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統(tǒng)
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產(chǎn)品型號:
品 牌:ThetaMetrisis
廠商性質(zhì):代理商
所 在 地:上海市
更新時間：2024-11-09 15:45:58瀏覽次數(shù)：1809次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進的光學器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
典型應用包括：厚玻璃的厚度測量（厚度可達 2 毫米，透明或霧面）晶圓厚度測量（例如直徑達 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓）。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標系和極坐標結(jié)合，用于大面積的厚度測量。
硅片厚度分布圖（12英寸）
特點：
o 單擊分析（無需輸入初始預估值）
o 動態(tài)測量
o 內(nèi)建700種以上不同材料
o 可安裝多個離線分析軟件
o 免費軟件更新
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